クリーン度の定義

クリーンルームの清浄度を「クラス」といい、この尺度は決められた体積に含まれる粒子の数で示されます。ISO規格(ISO 14644-1:2015)では1立方メートルあたりの空気中に含まれる0.1μm以上の粒子の数でクラスを規定しており、クラスは1~9まであります。
しかし、業界では以前から使われている米国連邦規格を使用することが多いので、この場合はクラスが1~100000まであります。この米国連邦規格では1立方フィート(約30cm四方)の空気中に含まれる0.5μm以上の粒子の数を基準としています。

空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度(ISO 14644-1:2015に基づく)

清浄度クラス上限濃度(個/m3)
ISO 14644-1米国連邦規格
(Fed.Std.209E)
測定粒径
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1.0μm5.0μm
Class 110
Class 21002410
Class 31100023710235
Class 410100002370102035283
Class 510010000023700102003520832
Class 610001000000237000102000352008320293
Class 710000352000832002930
Class 8100000352000083200029300
Class 9352000008320000293000

一般的に求められるクリーン度

高い清浄度を求められるのは半導体工場でClass3~5、ほかにも食品工場だとClass5~8が求められます。

ISOクラスClass 3Class 4Class 5Class 6Class 7Class 8
米国連邦規格110100100010000100000
半導体露光
エッチング・蒸着
組立・試験・検査
保管・梱包
液晶露光
基板洗浄
精密機器ベアリング
時計
カメラ
光学レンズ
フィルム製造・加工
人工衛星組立
レーザー
組立・試験・検査
電子機器プリント板
組立・加工・試験・検査
製薬薬品製造
食品製パン・製菓・製麺
乳製品
乳製品・生菓子包装工程
食肉加工
検査・分析

コメント

タイトルとURLをコピーしました