クリーン度の定義

クリーンルームの清浄度を「クラス」といい、この尺度は決められた体積に含まれる粒子の数で示されます。ISO規格（ISO 14644-1:2015）では1立方メートルあたりの空気中に含まれる0.1μm以上の粒子の数でクラスを規定しており、クラスは1～9まであります。
しかし、業界では以前から使われている米国連邦規格を使用することが多いので、この場合はクラスが1～100000まであります。この米国連邦規格では1立方フィート（約30cm四方）の空気中に含まれる0.5μm以上の粒子の数を基準としています。

空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度(ISO 14644-1:2015に基づく）

清浄度クラス		上限濃度（個/m3）
ISO 14644-1	米国連邦規格 （Fed.Std.209E）	測定粒径
		0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm
Class 1		10
Class 2		100	24	10
Class 3	1	1000	237	102	35
Class 4	10	10000	2370	1020	352	83
Class 5	100	100000	23700	10200	3520	832
Class 6	1000	1000000	237000	102000	35200	8320	293
Class 7	10000				352000	83200	2930
Class 8	100000				3520000	832000	29300
Class 9					35200000	8320000	293000

一般的に求められるクリーン度

高い清浄度を求められるのは半導体工場でClass3～5、ほかにも食品工場だとClass5～8が求められます。

ISOクラス		Class 3	Class 4	Class 5	Class 6	Class 7	Class 8
米国連邦規格		1	10	100	1000	10000	100000
半導体	露光	〇	〇	〇
	エッチング・蒸着		〇	〇
	組立・試験・検査			〇	〇	〇	〇
	保管・梱包					〇	〇
液晶	露光	〇	〇	〇
	基板洗浄		〇	〇	〇
精密機器	ベアリング			〇	〇	〇	〇
	時計			〇
	カメラ			〇
	光学レンズ		〇	〇	〇
	フィルム製造・加工					〇
	人工衛星組立			〇
	レーザー			〇
	組立・試験・検査			〇	〇	〇	〇
電子機器	プリント板			〇	〇	〇	〇
	組立・加工・試験・検査			〇	〇	〇	〇
製薬	薬品製造			〇	〇	〇	〇
食品	製パン・製菓・製麺				〇	〇	〇
	乳製品			〇	〇	〇
	乳製品・生菓子包装工程						〇
	食肉加工			〇	〇	〇
	検査・分析			〇	〇